B1500A. Анализатор полупроводниковых приборов
Госреестр № 58501-14 до 25.09.2019 г.
Версия для печати
- Особенности B1500A
- Технические характеристики B1500A
- Комплектность B1500A
- Дополнительные материалы по B1500A
- Примечание
Особенности B1500A
Превосходные технические характеристики при измерении вольт амперных характеристик (IV): разрешение 0,1 фA/0,5 мкВ
• Одноблочное решение для измерения вольт амперных (IV) и вольт фарадных (IV) характеристик, генерации испульсов, быстрых измерений IV и измерений во временной области
• Десять гнёзд для модулей источников/измерителей (SMU) и других типов модулей (MFCMU, HV SPGU и WGFMU)
• Безопасное и точное измерение параметров полупроводниковых устройств (как на пластине, так и в корпусе)
• Технические решения, реализующие с помощью с манипулятора переключение между измерениями CV IV и обеспечивающие разрешение 0,5 мкВ при измерении напряжения и 10 фA, 1 фA или 0,1 фA при измерении силы тока
• Автономный режим анализа данных и разработка программ испытаний с помощью программного обеспечения EasyEXPERT
• Доступное техническое решение по измерению импульсных вольт амперных (IV) характеристик с длительностью импульса 10 нс для высокоизолирующих диэлектриков К затвора и транзисторов на КНД структурах
• Доступен классический режим испытаний для сохранения внешнего вида, ощущения и терминологии интерфейса 4155/4156 с расширением возможностей взаимодействия за счёт полного использования преимуществ интерфейса пользователя Microsoft Window
Анализатор полупроводниковых приборов B1500A компании Agilent имеет 10 гнёзд для установки модулей и поддерживает измерения вольт амперных (IV) и вольт фарадных (CV) характеристик, быстрые измерения высоковольтных и импульсных характеристик. Используя знакомый интерфейс пользователя Microsoft Windows, программное обеспечение EasyEXPERT компании Agilent реализует интуитивно понятный, проблемно ориентированный подход для измерения параметров устройств.
Благодаря возможностям измерения силы тока и напряжения малого уровня, а также интегрированным возможностям измерения ёмкости B1500A можно использовать для решения широкого круга задач определения параметров полупроводниковых устройств. Кроме того, САПР IC CAP поддерживает B1500A при моделировании устройств. B1500A является также превосходным техническим решением для определения параметров ячеек энергонезависимой памяти, включая новейшие измерения нестабильности, вызванной отрицательным смещением и температурой (NBTI) и произвольного телеграфного шума (RTN).
Программное обеспечение EasyEXPERT компании Agilent для B1500A и программное обеспечение Desktop EasyEXPERT для управления прибором от ПК обеспечивают мощные возможности параметрических измерений. EasyEXPERT включает более 240 прикладных программ испытаний, удобно организованных по типу устройства и функции измерения. Эта обширная библиотека позволяет немедленно начать выполнять широкий круг измерений для множества типов устройств, не затрачивая времени на изучение аппаратных средств прибора.
Модульная конструкция B1500A минимизирует затраты и защищает капиталовложения пользователя. Десять гнёзд и широкий выбор модулей источников/измерителей (SMU), а также других передовых типов модулей позволяет создать именно ту конфигурацию B1500A, которая требуется. При этом имеется достаточно места для расширения при изменении потребностей измерений. С появлением новых модулей можно легко добавлять новые возможности испытаний к B1500A.
Способность удовлетворять как известным, так и непредвиденным требованиям испытаний гарантирует хорошую защиту инвестиций пользователя в оборудование для параметрических испытаний в будущем.
Технические характеристики B1500A
Характеристики базового блока
• Число доступных гнёзд: 10
• Ток стока модуля заземления: 4,2 А
• Порты USB: 2 на передней панели и 2 на задней панели
• Интерфейс управления прибором: GPIB
• Интерфейс локальной сети (LAN): порт 100 BASE TX/10 BASE T
• Внешние входы/выходы запуска: 1 вход запуска (BNC); 1 выход запуска (BNC); 8 программируемых входов/выходов запуска
Измерение импульсных IV характеристик при длительности импульса затвора 10 нс
Переход к элементам с размерами 45 нм сопровождается использованием высокоизолирующих диэлектриков К затвора (high k gate dielectric) и транзисторов на структурах "кремний на диэлектрике" (КНД структурах). Анализатор B1500A хорошо зарекомендовал себя как основной прибор для снятия характеристик таких устройств в лабораторных условиях. Обладая превосходными рабочими характеристиками измерения на постоянном токе, анализатор B1500A с программным обеспечением EasyEXPERT теперь поддерживает техническое решение по измерению импульсных IV характеристик с помощью генератора импульсов 81110А и осциллографа серии DSO90000А. Это решение может использоваться для снятия характеристик МОП транзисторов с беспрецедентной длительностью импульса на затворе, равной 10 нс.
Длительность импульса на затворе, равная 10 нс
Данное техническое решение обеспечивает длительность импульса на затворе, равную 10 нс, с длительностями фронта и среза 2 нс. Формируется чистый прямоугольный сигнал с минимальными значениями выбросов на фронте и отрицательных выбросов перед фронтом импульса.
Разрешение при измерении тока, равное 1 мкА
Данное техническое решение обеспечивает разрешение 1 мкА при измерении тока и длительности импульса 10 нс, позволяя более точно определить характеристики высокоизолирующих диэлектриков К затвора и транзисторов на КНД структурах.
Петля обратной связи обеспечивает точные измерения ID VD и ID VG
Данное решение контролирует действительное напряжение стока МОП транзистора и автоматически корректирует приложенное напряжение стока, чтобы действительное напряжение стока (в точке соединения нагрузочного резистора с транзистором) было правильным в каждой точке измерения. Это поддерживается как при снятии характеристик ID VD (зависимость тока стока от напряжения на стоке), так и ID VG (зависимость тока стока от напряжения на затворе).
Простое переключение между измерениями на постоянном токе и импульсными измерениями
Имеется опция, позволяющая осуществлять переключение между измерениями на постоянном токе и импульсными измерениями IV без изменения кабельных соединений. Это упрощает соотношение результатов измерений на постоянном токе и импульсных измерений, а также позволяет автоматизировать этот процесс.
Взаимосвязь с производственными системами
Программное обеспечение EasyEXPERT, поставляемое с B1500A, доступно также в версии для настольного ПК. Оно позволяет даже неопытным пользователям выполнять измерения импульсных IV характеристик. После выбора данного вида измерения окно установки условий испытания отображает полную схему оборудования, которая облегчает правильное соединение компонентов. Выполнив простую процедуру заполнения полей, пользователь может щелкнуть по клавише "Measure" (измерение), чтобы начать измерение импульсных IV характеристик. График и список данных генерируются автоматически, после чего пользователь может экспортировать данные в различные программы анализа данных, такие как Microsoft Excel.
Технические характеристики (тип. значения)
• Длительность импульса на затворе: от 10 нс до 1 мкс
• Амплитуда импульса на затворе: от минус 4,5 В до 4,5 В
• Изм. значение амплитуды импульса тока на стоке: 80 мА (макс.)
• Разрешение при измерении амплитуды импульса тока на стоке: 0,1 мкА
• Диапазон напряжений на стоке: от минус 10 В до 10 В
Для транзисторов на КНД структурах низкий коэффициент заполнения импульсов снижает эффекты от самопрогрева, которые влияют на результаты измерения. Для высокоизолирующих диэлектриков К затвора низкий коэффициент заполнения уменьшает сферу действия захвата электронов, искажающего результаты измерения.
Комплектность B1500A
- измерительный блок
- Кабель питания CD-ROM с руководством пользователя
- CD-ROM с программным обеспечением Desktop EasyEXPERT
- CD-ROM с дополнительным программным обеспечением (включая драйверы и -утилиты)
- Лицензия на использование ПО EasyEXPERT и Desktop EasyEXPERT
Дополнительные материалы по B1500A
Примечание
Цена на изделие "Анализатор полупроводниковых приборов B1500A" приведена как справочная информация, не является публичной офертой, определяемой положениями статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации и может быть изменена в любое время без предупреждения. Наличие на складе или предполагаемый срок поставки позиции "Анализатор полупроводниковых приборов B1500A" уточняйте у менеджеров отдела продаж по телефонам: +7 (4912) 24-59-59, 24-59-58, 24-59-57 или по e-maill: jais@jais.ru.